三木SEO-等离子键合PDMS
发布于:2025-11-10 12:07:49

微流控芯片体系(Microfluidic Chip System)如图1所示,又称为芯片试验室(Labona Chip),是一种经由过程于微米标准上把持流体流动,继而举行各类生化阐发的试验平台,该平台一般只有几平方厘米巨细,可实现范围的集成化,到达多种阐发同时举行的效果。微流控芯片技能通常为指使用微标准下游体的流动性子对于物资举行分散、检测并辅以某些自动或者被动操作的技能。

等离子处置惩罚技能是微流控芯片建造历程中最经常使用的键合技能,可以或许实现PDMS-玻璃的永世性贴合。等离子键合是把玻璃及PDMS外貌举行等离子处置惩罚,转变玻璃及PDMS外貌性子,同时可以显著改善PDMS外貌的亲水机能,将PDMS及玻璃贴合后,实现安稳不成逆键合,如图2所示。

PDMS-玻璃键合示用意

01PDMS-玻璃等离子键合道理

微流控芯片各组件制造终了后利用等离子洗濯机举行键合组装,等离子键合技能道理如图1.3所示,等离子洗濯机中的氧气于高频电场中电离形成氧气等离子体,同时还有存于有氧原子与臭氧,具备强氧化性,颠末氧等离子体处置惩罚后的PDMS外貌引入了亲水性子的-OH基团,使PDMS外貌出现出极强的亲水性子。同时玻璃或者硅基底外貌含有年夜量Si-O键,经氧等离子处置惩罚后,Si-O键被打断,于外貌形成年夜量Si吊挂键并与空气中-OH联合形成Si-OH键。将经氧等离子处置惩罚后的PDMS与玻璃外貌贴合,两个外貌的Si-OH发生反映:2Si-OH®Si-O-Si+2H2O,PDMS与玻璃外貌形成安稳的化学键,两者间的键合不成逆。

图片4.png

PDMS-玻璃等离子键合道理示用意

02将制备好的单个组件经由过程等离子洗濯机完成键合的步调以下:

(1)将玻璃片及PDMS芯片或者两片PDMS芯片的待键合面 放于氧等离子体洗濯机中。 (2)调治等离子洗濯机功率为200W,氧气流量为100-200ml/min,举行1-2分钟洗濯。 (3)洗濯终了后破真空掏出组件,起首将PDMS置在玻璃中央位置,小心的赶走气泡,轻轻按压完成键合。 (4)将组装终了的微流控芯片置在90℃热板加热10-15分钟,这将使组件间的化学键联合更安稳。

03利用等离子洗濯机对于玻璃及PDMS外貌改性键应时,需要尤其留意如下几点问题:

(1)等离子洗濯机腔室内的清洁,对于玻璃及PDMS举行处置惩罚时,起首将需要改性的物品放入等离子洗濯机的腔室内,放入时,避免于玻璃及PDMS的外貌留下指纹。仪器腔室内的杂质一样会污染样品外貌,要留意腔室内的清洁。 (2三木SEO-)等离子体处置惩罚后的时间,等离子体处置惩罚后,外貌的化学键最先重组,几分钟后,外貌活性降落,致使PDMS及玻璃的键合强度降落。以是,不成于等离子洗濯机放气以后还有将样品滞留在腔室内,必需当即掏出举行贴合。 (3)贴合后热烘,为了使PDMS基板及导电玻璃基板接触后更易发生化学链接,经由过程加热的方式增强化学链接的强度。

来历:微流控芯片阐发技能

【近期集会】

10月30-31日,由宽禁带半导体国度工程研究中央主理的“化合物半导体进步前辈技能和运用年夜会”将初次与各人于江苏·常州相见,邀您齐聚常州新城希尔顿旅店,解耦财产链市场结构!https://w.lwc.cn/s/uueAru

11月28-29日,“第二届半导体进步前辈封测财产技能立异年夜会”将再次与列位相见在厦门,承袭“延续去年,立异本年”的思惟,仍将由云天半导体与厦门年夜学结合主理,雅时国际商讯承办,邀您齐聚厦门·海沧融信华邑旅店共探行业成长!诚邀您报名参会:https://w.lwc.cn/s/n6FFne

-三木SEO-