来历：盛美上海
近日，盛美上海首台具备自立常识产权的涂胶显影Track装备Ultra LITH乐成出机，顺遂向中国海内客户交付首台前道ArF工艺涂胶显U8国际官网影Track装备，该装备由盛美半导体装备(亚太)制造中央完成出货，这是该公司晋升其于涂胶及显影范畴内专业技能的主要一步。
此外，盛美上海将在2023年推出i-line型号装备，而且公司已经最先着手研发KrF型号装备。前道涂胶显影Track装备Ultra LITH的出货是盛美上海连续拓展产物系列的又一结果，公司致力在成为晶圆级的工艺解决方案平台，旗下产物还有包括单晶圆和槽式湿法洗濯装备、电镀装备、无应力抛光装备、立式炉管装备，和PECVD装备。
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